首页> 中文会议>第八届全国青年材料科学技术研讨会 >Na2O对制备半导体用MoSi2/oxide发热元件使用特性的影响

Na2O对制备半导体用MoSi2/oxide发热元件使用特性的影响

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文对比了脱Na工艺前后MoSi<,2>/oxide发热元件使用特性的变化.分析结果表明,通过脱Na处理较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,同时使发热元件的弯曲强度和高温蠕变特性也有了明显改善,从而提高了发热元件的使用寿命.

著录项

来源
《第八届全国青年材料科学技术研讨会》|2001年|109-111|共3页
会议地点哈尔滨
作者
赵世柯; 王刚; 江莞;
展开▼
作者单位

中国材料研究学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;
关键词
Na,2O粘土; 土硅化钼; 发热元件; 材料性能;
入库时间 2022-08-17 10:24:00

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Na2O对MoSi2/oxide发热元件特性的影响 [J] . 赵世柯 ,王刚 ,江莞 . 材料科学与工艺 . 2002,第002期
2. Na2O的含量对MoSi2/Oxide系发热元件材料力学性能的影响 [J] . 王刚 ,江莞 ,赵世柯 . 无机材料学报 . 2003,第001期
3. MoSi2发热元件的微观结构对使用性能的影响 [J] . 艾云龙 ,杨延清 . 材料科学与工艺 . 1997,第003期
4. MoSi2发热元件在不同气氛中使用损毁分析 [J] . 刘新红 ,宋煜伟 ,杨金松 . 耐火材料 . 2014,第005期
5. 典型MoSi2发热元件物相与显微结构分析 [J] . 黄文江 ,周颖 ,李斯 . 郑州大学学报（工学版） . 2017,第006期
6. MoSi2发热元件的微观组织结构 [C] . 冯培忠 ,曲选辉 ,杜学丽 . 第十届全国青年材料科学技术研讨会 . 2005
7. MoSi2发热元件密度和使用温度的若干研究 [A] . 魏猛 . 2011

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号