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激光反馈干涉测量PZT驱动器的位移

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压电晶体驱动器已经用于亚微米级位移的测量和控制.有许多测量微位移的干涉方法,然而难以做出结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统方法都需要许多光学元器件.本文提出用激光反馈干涉水测试PZT驱动器的动作特性,分析和讨论了激光反馈干涉信号的产生和处理方法,并给出了双压电晶片(bimorph)型PZT位移的实验结果.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|403-405|共3页
会议地点重庆
作者
王鸣; 南京师范大学物理科学与技术学院; 聂守平; 李达成;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体激光器;测试和检验;
关键词
激光反馈干涉; 位移测量; PZT驱动器; 微位移; 双压电晶片;

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