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微马达在微机械密码锁中的应用

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在介绍机械密码锁的工作原理基础上,提出了微机械密码锁对微马达的性能要求,并对几种国内外研制较成功的微马达进行了分析,并涉及到了相应的制造工艺.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|488-490|共3页
会议地点重庆
作者
李枚; 高杨;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微电机;五金容器;
关键词
微马达; 微机械密码锁; MEMS; 微机电系统; 制造工艺;
入库时间 2022-08-17 10:21:34

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