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基于LabVIEW平台的智能控制系统

摘要

介绍一种基于LabVIEW操作平台的智能控制系统,控制伺服系统具有较好的速度平稳性、较高的反向加速度及定位精度.用于扫描工件台在真空曝光箱内的运行控制.

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