用于光网络的微光机电系统制作技术及进展

摘要

微光机电系统是微光学、微电子学、微机械学结合而产生的一个新的应用领域,它是光、机、电、磁、化学、自动控制、传感技术和信息处理等多种技术的综合.本文综合介绍了用于光网络的微光机电系统(MOEMS)的技术特点、工作原理和制作技术,对微结构加工、微光学元件制作、微光学器件装配的工艺过程和技术特点作了详细的阐述,介绍了一些微加工工艺、微光学元件方面的技术发展情况.