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Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法

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摘要

提出一种新的在扫描电子显微镜中非接触无损透过半导体和集成电路表面绝缘层显微内窥透视检测掩盖在其绝缘层下面的半导体的缺陷和集成电路微结构的检测法(简称透表法)和用此法所观测到的图像.同时,本文还介绍了在此新检测法中Lock-in的应用.

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来源
《全国第九届微弱信号检测学术会议》|2001年|112-115|共4页
会议地点南京
作者
王建; 肖玲; 梁竹关; 周开邻; 胡问国; 李亚文; 李萍; 徐晓华; Pay э.н;
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作者单位

中国电子学会;

中国仪器仪表学会;

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子光学仪器;半导体集成电路（固体电路）;测试和检验;
关键词
扫描电子显微镜; 电子束; 非接触无损; 显微分层内窥透视检测法; 锁相放大器; 集成电路;

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