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R-T不稳定性分解实验中的调制和薄膜靶的研制

摘要

本文介绍了用于分解实验模拟靶丸表面粗糙度和驱动激光空间不均匀性,对R-T不稳定性作用的平面调制靶和平面薄膜靶的研制.以激光干涉法结合图形转移工艺获得波长在20-100微米,振幅在零点几到3.5微米的系列平面调制靶,以半导体工艺结合腐蚀工艺获得厚度在几个微米的自支撑Si平面薄膜靶.

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