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Co-P非晶态合金膜的化学镀制备及其表征

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摘要

以p-型硅片为基底,采用化学镀方法首次制备了Co-P非晶态合金膜,其非晶态结构由XRD确定.样品分别进行高温热处理和氧化-还原循环处理,结合XRD、ICP、SEM和XPS等表征方法,研究了上述热处理过程中样品的结构、表面形貌、表面电子态及表面组成的变化.

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来源
《第四届全国青年精细化工学术会议》|2001年|280-284|共5页
会议地点天津
作者
蔡霞; 徐叶平; 陈兴凡; 李和兴;
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作者单位

中国化工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类催化剂制备工艺;
关键词
Co-P合金膜; 化学镀; 循环氧化-还原; 非晶态合金催化剂;
入库时间 2022-08-17 10:19:20

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