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热流式微型二维倾角传感器的分析和设计

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摘要

基于气体热对流的微机械倾角传感器具有结构、工艺简单、响应时间短以及抗强冲击的特点.设计了一种新型结构的二维倾角传感器,在对传感器工作原理进行理论分析的基础上,通过有限元分析得到了气体对流速度场和温度场的分布,同时给出了该传感器的工艺实施方案.

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来源
《中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会》|2002年|166-169|共4页
会议地点合肥
作者
李科; 梅涛; 孔德义; 熊小义;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
倾角传感器; 热流式传感器; 微电子机械系统; 气体对流;

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