超大规模集成电路工程设计中的防微振技术

摘要

超大规模集成电路工程设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用概念设计的方法,来解决防微振问题.