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高精密大型仪器故障诊断方法初探

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介绍了精密大型仪器的故障诊断方法,并具体介绍XL-30/DX4i一体化扫描电镜/能谱仪和Gieebie-2000热模仪试验机等设备的组成和故障诊断.

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来源
《第十一届全国设备监测与诊断学术会议》|2002年|405-406|共2页
会议地点无锡
作者
刘志军;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH172;
关键词
精密大型仪器; 故障诊断; 扫描电镜; 能谱仪; 热模拟试验机;
入库时间 2022-08-17 10:15:06

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