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硬质薄膜显微硬度测量中的载荷选择

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本文利用高速钢基体上通过反应磁控溅射技术沉积的1.5μm和3.0μm厚的TiN薄膜,采用力学探针技术准确测量硬质薄膜的力学性能.

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来源
《第十二届全国电子显微学会议》|2002年|635-636|共2页
会议地点太原
作者
赖倩茜; 田家万; 戴嘉维; 李戈扬;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
硬质薄膜; 探针技术; 硬度测量; 压入载荷; 力学性能;

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1. 硬质薄膜显微硬度测量中的载荷选择 [J] . 赖倩茜 ,田家万 ,戴嘉维 . 电子显微学报 . 2002,第005期
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