纳米颗粒SiO2光学薄膜的制备与结构控制

摘要

本文报道了一种新的快速、方便、有效实现纳米颗粒SiO2薄膜结构人工控制、折射率连续调节的方法.在溶胶-凝胶基础上,采用碱、酸一步法以及碱/酸两步法和浸渍镀膜技术制备了纳米颗粒SiO2薄膜.使用透射电镜、扫描电镜、原子力显微镜、椭偏仪等方法测量和分析了薄膜的特性.实验结果给出从碱一步法、碱/酸两步法、到酸一步法形成的薄膜,SiO2颗粒变小,孔隙率降低,折射率从1.18连续增加到1.41.这些结果表明,碱/酸两步法能方便、有效地连续控制纳米颗粒SiO2薄膜的结构;实验条件对薄膜特性的影响起因于纳米颗粒结构的变化。