微米/纳米技术

摘要

微米/纳米技术是指微米级到纳米级的材料、设计、制造、测量、控制和应用技术.其研究途径有由底至上的方法(bottom-up),和由上至底的方法(up-bottom)的两种.本文重点阐述微米/纳米技术的基本概念、内容和发展,这是一个很宽广的新技术.文中还着重介绍了微型机电系统,探针显微技术和微米/纳米技术的军事应用.这项新兴技术实在重要,关系到国家科技发展、经济和国防建设的未来,已受到各国决策部门的重视,被列入各国高新技术发展规划.