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扩散阻挡层与离子束轰击能量对Cu-Cr合金膜结合强度的影响

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摘要

用离子束辅助磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法分别在TiN、CrN扩散阻挡层上沉积了Cu-Cr合金膜.用滚动接触疲劳实验评价结合强度,结果发现:扩散阻挡层可明显提高结合强度;CrN上的Cu-Cr膜的结合强度最高;高能离子轰击得到的Cu-Cr合金膜具有更宽的过渡层而具有更高的结合强度.

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来源
《中国真空学会薄膜技术学术研讨会》|2003年|4-6|共3页
会议地点宁波
作者
宋忠孝; 鞠新华; 徐可为; 范多旺;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类装架;
关键词
扩散阻挡层; Cu-Cr合金膜; 离子束辅助沉积; 铜铬合金膜;
入库时间 2022-08-17 11:10:49

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