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用于产业化高温超导滤波器的基片

摘要

为满足高温超导滤波器的产业化生产对基片提出的高的技术要求,必须投入专门的研发力量对基片晶体生长和加工予以深入研究.本文就基片的若干关键技术指标及其保证工艺做了探讨.

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