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基于网络数据库的LSI工业洁净系统

摘要

大规模集成电路(LSI)的生产环境对电子行业极其重要,而洁净环境的控制是一个系统工程,不仅仅依靠优良的处理设备.介绍了利用网络数据库系统和Lonworks的控制网络技术,实现生产管理与净化系统相结合的智能化,可视化和一体化控制.通过对数据库中大量信息的挖掘,及时掌握和预测生产及设备状态,可以极大地提高生产管理水平.

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