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周强; 胡一达; 宗光华; 毕树生;
中国仪器仪表学会;
直线电机; 生物芯片检测仪; 扫描平台; PID控制;
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机译:扫描光束干涉光刻系统超精密平台偏航误差校正
机译:基于垂直扫描的三维精密平台及其在表面形貌测量中的应用
机译:先进的基于原子力显微镜-扫描电化学显微镜的生物应用传感平台。
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机译:基于多边形的活检POS扫描系统,采用位于水平和垂直扫描窗口下方的双独立光学平台
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