使用温区补偿技术改进扩散均匀性

摘要

降低太阳电池制造成本,提高光电转换效率,在保证效率的前提下提高设备产率,是晶体硅太阳电池制造技术适应不断发展的光伏市场的重要条件.本文针对提高管式炉装载量,提高设备产率,改进大批量扩散均匀性的问题,分析了在管式炉扩散工艺中,引起批内扩散质量参数离散的原因,从温度-时间补偿的概念出发,设计了实验补偿温区.批量试验的结果证明,补偿温区设计方法具有较好的生产实用效果.