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环形固体背散射探测器的最佳检测距离

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在扫描电子显微镜中背散射电子像是一种很常用的电子图像.要得到一幅清晰、理想的背散射电子像,对于不同型号的探测器其最佳工作距离不同、应根据尺寸和形状计算其最佳工作距离.

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来源
《第二届全国扫描电子显微学会议》|2003年|648-649|共2页
会议地点珠海
作者
施明哲; 马鑫;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH741.7;
关键词
扫描电镜; 背散射探测器; 背散射电子像; 最佳检测距离;

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