磁控溅射制备的FePt/Fe多层膜的结构和磁性

摘要

采用磁控溅射法,在硅基片上生长了FePt单层膜,FePt/Fe多层膜样品系列,并在不同的温度下进行了热处理.然后用X射线衍射(XRD),电子能量谱(EDX)和振动样品磁强计(VSM)对样品的晶结结构,成分和磁学性能进行测量.实验结果表明,溅射态的FePt薄膜是无序相的面心立方结构(γ-FePt),属于软磁相,经过500℃以上热处理后转变成有序相的四方体结构(γ-FePt),属于硬磁相.本文对于热处理温度,多层膜中FePt层厚度对结构和磁性能的影响进行了系统的研究,获得了软硬磁相耦合良好的交换弹簧永磁体多层膜.