硬颗粒冲中蚀单晶硅表面断裂的晶体学特征

摘要

选取单晶硅(111)面作为冲蚀靶面，对球形颗粒、角形颗粒垂直冲蚀靶面时产生的表面断裂形态与静态球形压痕进行比较，根据硬颗粒冲蚀时在样品表层材料中发生绝热应变的假设，探讨固体硬颗粒冲蚀表面断裂的晶体学特征和表层材料赫茨断裂与解理断裂之间的竞生关系。