超声波强化电镀过程及改善镀层质量的机理

摘要

在金刚石电镀工具生产过程中,扩散步骤通常是电镀速度控制步骤,浓差极化是比电化学极化更为主要的限制因素.超声波能够强化电镀过程,提高沉积速率,并且改善镀层质量.阴极极化曲线测定结果证明,产生这种效果的机理,从电极过程动力学观点看来,实质上是超声波的机械振动和空化现象在电镀溶液中对扩散层的特殊搅拌引起的强烈的去极化作用.这种作用能够大大减少甚至完全消除浓差极化,因而允许使用大电流密度以提高生产效率,同时能够获得致密平整的良好镀层.