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掺杂用DMZn和DEZn的混合气配制方法研究

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Zn源是用于化合物半导体材料的掺杂剂中的一种,本文研究掺杂用DMZn和DEZn的混合气配制方法.为防止液化必须限定混合气的总压.

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来源
《中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议》|2003年|25-25|共1页
会议地点牡丹江
作者
张琳; 计燕秋; 安华;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类第Ⅲ族元素有机化合物;
关键词
化合物半导体; 外延生长; 掺杂剂; 混合气配制方法; Zn源;

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