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基于热电堆的集成风速计设计

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利用MEMS微机械技术制造的热流量计可以用来测量风速,本文介绍了热堆作为敏感元件的流量计,其具有自生热无需偏置等优点.文中对于常用的CMOS兼容的热堆材料进行讨论,并且设计与之相适应的片上集成电路以及系统的工艺实现.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|188-194|共7页
会议地点北京
作者
朱昊; 黄庆安; 秦明;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计、性能分析与综合;
关键词
流量传感器; MEMS; CMOS兼容;

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