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磁控镀膜线保持真空期间故障报警系统

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本文是对美国Airco公司G69型真空磁控溅射镀膜玻璃生产线建立保持真空期间故障报警系统,提出了两种解决方案.我厂采用第二种方案进行了技术改造,使用效果良好.

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来源
《全国第五届浮法玻璃及深加工玻璃技术研讨会》|2003年|290-293|共4页
会议地点上海
作者
张西涛; 宋洁; 李正华; 孟祥德;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

中国建筑玻璃与工业玻璃协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ171.724;
关键词
保持真空; 故障报警; PLC-5程序; 镀膜玻璃; 磁控溅射;

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