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关于CM真空表的使用及维修

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本文简要介绍了磁控溅射镀膜的基本原理及CMH4系列真空表在C69真空磁控溅射镀膜生产线中的应用,并着重对其使用与维修进行了探讨.

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来源
《全国第五届浮法玻璃及深加工玻璃技术研讨会》|2003年|302-304|共3页
会议地点上海
作者
沈传东;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

中国建筑玻璃与工业玻璃协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ171.624;TQ171.724;
关键词
CMH4真空表; 镀膜玻璃; 热反射膜; 磁控溅射; 真空测量仪表;

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