2002～2003年日本特种气体市场

摘要

本文概述了2002～2003年日本特种气体的产销情况、应用进展及部分公司近况，在文中介绍了四氟化碳、二氯二氢硅、四乙氧基硅烷、硅烷、磷烷、乙硼烷、高纯氯化氢等15种气体。