乙硼烷的纯化工艺及分析方法

摘要

乙硼烷在半导体工业中作为成膜、外延和掺杂用气已得到越来越广泛的应用，随着大规模集成电路集成度的提高，对乙硼烷纯度的要求也越来越高。因此，本文概述了高纯乙硼烷的制备、提纯工艺、分析方法及性能指标。