材料循环处理工艺中真空系统的计算机控制

摘要

主要叙述了采用计算机控制材料循环处理工艺中的低温、真空系统,采用专门设计制造的伺服电动阀,通过改变伺服电动阀的开启角度达到控制真空的目的.真空的控制精度实测值为:在常温条件下的55×10<'-2>Pa~5×10<'3>Pa范围内误差不大于±6.4﹪;在-55℃的低温条件下的4×10<'2>Pa~5×10<'3>Pa范围内误差小于±5.6﹪.