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微电子无机化学品的研究现状与进展

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摘要

超大规模集成电路(ULSI)生产需要大量的必不可少的高纯超净化学品,其中微电子无机化学品占了很大比重.本文综述了当前国内外在微电子无机超净高纯化学品、微电子无机超净高纯气体等方面的研究现状与进展,讨论了超净高纯化学品分析检测的原则,展望了微电子无机化学品的发展前景.

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来源
《中国化工学会无机酸碱盐专业委员会2004年无机盐学术年会》|2004年|27-31|共5页
会议地点张家界
作者
许振良;
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作者单位

中国化工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类非金属元素及其无机化合物化学工业;
关键词
微电子化学品; 无机化学品; 超净高纯化学品;
入库时间 2022-08-17 11:05:03

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