首页> 中文会议>中国核学会核材料专业分会2004年学术交流会 >磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究

磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文采用He/Ar复合气氛下磁控溅射方法,在Ti、TiZrYAl和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦-金属比)高达0.19的氦.引入的氦在膜层内沿深度均匀分布,并主要存在于直径为2～5nm的高压He泡内.热解吸实验表明,在相同He含量下,TiHe膜中He的解吸峰温度与氚化钛中衰变产生的3He的解吸峰温度基本一致.与纯钛相比,合金膜中氦的热解吸谱宽化明显,表明He在合金膜内的捕获形式更为复杂.

著录项

来源
《中国核学会核材料专业分会2004年学术交流会》|2004年|88-93103|共7页
会议地点上海
作者
郑华; 刘实; 于洪波; 朱跃进; 王隆保; 施力群; 刘超卓;
展开▼
作者单位

中国核学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
磁控溅射; Ti膜; 氦; 热解吸; 合金膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究 [J] . 郑华 ,刘实 ,于洪波 . 原子能科学技术 . 2005,第0z1期
2. 磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究 [J] . 郑华 ,刘实 ,于洪波 . 原子能科学技术 . 2005,第B07期
3. 含氦钛膜中氦的热解吸 [J] . 程贵钧 ,龙兴贵 ,罗顺忠 . 工程物理研究院科技年报 . 2006,第001期
4. 直流磁控溅射法制备含氦铝膜 [J] . 贾建平 ,施立群 ,赖新春 . 原子能科学技术 . 2006,第003期
5. 氚化钛膜中氦的热解吸行为初步研究 [J] . 王海峰 ,彭述明 ,周晓松 . 原子能科学技术 . 2008,第001期
6. 多次压氦法和预充氦压氦法氦质谱细检漏方法研究 [C] . 王庚林 ,李宁博 ,李飞 . 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 . 2013
7. 含氦钛膜中氦的热解吸行为研究 [A] . 程贵钧 . 2011

磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅