激光清洗--富有前途的环保型清洗方法

摘要

激光清洗是一种新的清洗方法,它利用激光的方向性和高亮度,通过光剥离、光分解等原理清除材料表面的污染物,具有简单方便无二次污染等独特优点.简述了激光清洗的原理及激光清洗表面微粒的方法,介绍了激光清洗在微电子器件清洗、除锈脱漆、文物和城墙清洗等几方面的应用.