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离子束辅助沉积铪膜耐热应力性能研究

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本文采用离子束辅助沉积方法在行波管的钨质栅网上沉积铪膜.在高真空的环境下,模拟行波管的工作条件,对不同设备,不同工艺参数沉积的铪膜进行耐热应力循环试验.应用SEM观察试验样品在高温热处理前后形貌的变化.用AES测量循铪膜的组份.研究分析了铪膜起皮脱落的原因.确定了制备具有良好耐热应力性能铪膜的工艺条件.

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来源
《第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议》|2004年|460-463|共4页
会议地点大连
作者
江炳尧; 任琮欣; 冯涛; 蒋军; 柳襄怀;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类行波管;
关键词
钼栅极; 电子发射; 离子束辅助沉积; 行波管; 铪膜; 耐热应力; 工艺条件;

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