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真空度测量方法的探讨与实践

摘要

通过磁控放电的原理的阐述,提出了在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系.介绍了采用电离电荷量测量真空灭弧室真空度的方法及应用情况.

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