用质谱法测量SiH4辉光放电中性基团的空间分布

摘要

本文设计了一个取样位置能在电极间自由调节的取样装置，用质谱法首次测量了SiHn (n=0-3)基团的空间相对丰度分布。SiH4 的消耗率是计算中性基团的关键参量，一种线性拟合的方法被提出来计算SiH4 的消耗率。SiHn (n=0-3)基团的空间相对丰度分布表明：在等离子体空间，SiH2、SiH3 的丰度要比Si 和SiH 大，这表明SiH2 和SiH3 可能是沉积薄膜的主要基团。