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激光刻划碲化镉薄膜研究

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研究声光调Q 的Nd:YAG激光对碲化镉薄膜的刻划过程，得出了刻槽形貌随脉冲重复频率、灯电流大小和刻划速率变化的规律。

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来源
《第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛》|2004年||共4页
会议地点深圳
作者
岳磊; 蔡伟; 张静全; 蔡亚平; 郑家贵; 冯良桓; 覃文治; 李杨华;
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作者单位

中国太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
激光刻划; 碲化镉薄膜; 刻槽形貌;
入库时间 2022-08-17 11:02:22

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