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超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

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采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

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来源
《第五届中国功能材料及其学术会议》|2004年|2178-21792182|共3页
会议地点秦皇岛
作者
张文英; 黄楠; 孙鸿; 冷永祥; 杨文茂; 陈俊英;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国金属学会;

中国稀土学会;

中国复合材料学会;

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.18;TN304.055;
关键词
DLC; 类金刚石薄膜; 超硬超厚; 沉积偏压;

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