光电微表面结构观测镜光学结构的精度分析

摘要

本文提出了一种针对微观表面结构，特别是对"盲孔"内底面进行高精度检测的光电检测方法，明确提出光电微表面结构观测镜系统设计的技术要求；分析了系统光学结构的特点；介绍了基于尺寸链理论的误差分析公式并重点分析了系统光机综合的焦距精度。系统整体结构轻巧，具有便携化的特点。