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表面传感的超大规模分子动力学仿真

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本文通过超大规模分子动力学方法,模拟传感器件的纳米加工过程,利用蒙特卡罗方法详细考察了器件表面传感过程的微观机理,研究了表面吸附对器件表面形态的影响.

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来源
《第九届全国电分析化学学术会议》|2005年|433-434|共2页
会议地点南京
作者
唐玉兰; 王东旭; 胡适; 赵健伟;
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作者单位

中国化学会;

中国金属学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类计算机仿真;
关键词
表面传感器; 动力学仿真; 蒙特卡罗;

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