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AlGaN材料金属接触的性能和界面结构研究

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文章通过AlGaN材料的金属接触制作工艺和接触性能、接触界面显微结构和基础理论研究等诸方面反映AlGaN材料的欧姆接触及势垒接触研究概况和最新进展.

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来源
《首届全国先进焦平面技术研讨会》|2005年|867-872|共6页
会议地点乌鲁木齐
作者
胡正飞; 沈晓明; 周盛容; 侯艳芳; 梁骏吾; 李向阳; 龚海梅; 李雪;
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作者单位

中国电子学会;

中国光学光电子行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.26;O472.1;
关键词
铝镓氮材料; 欧姆接触; 界面结构; 显微结构;

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