反应等离子喷涂TiN涂层的组织结构及显微硬度

摘要

采用反应等离子喷涂的方法在低碳钢基体上喷涂TiN涂层.利用X射线衍射仪分析了TiN涂层的物相、采用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对TiN涂层的组织结构进行了表征,测试了TiN涂层的显微硬度.研究发现,TiN涂层组织主要由TiN及少量的钛的氧化物组成,TiN涂层的晶粒为纳米和准纳米级.TiN涂层为典型的层状结构,TiN涂层的压痕形状规则,周围无开裂,TiN涂层的加工硬化程度随施加载荷的增大而降低,说明涂层具有较好的韧性.