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基于静电键合过程模型的工艺仿真

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本文介绍了静电键合工艺仿真模型及其过程仿真,对平板电极、单点电极、多点电极的键合电流和键合进程进行了建模,采用动态工艺数据库方法完成了三种静电键合工艺下的可视化编程,实现了静电键合过程的可视化仿真与工艺CAD.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|270-271|共2页
会议地点大连
作者
陈伟平; 张丹; 黑龙江大学; 刘晓为; 揣荣岩; 沈阳工业大学;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类引线技术;计算机仿真;
关键词
静电键合; 工艺仿真; 工艺数据库;
入库时间 2022-08-17 10:56:28

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