探测器光电响应差异对差动共焦瞄准信号的影响分析

摘要

应用差动共焦光学系统对超精密加工的表面进行瞄准测量时,差动连接的光电探测器的光电特性差异、光路调节以及探测器前的小孔光阑的不一致,造成了光电探测器输出信号差异,并影响到差动系统输出的瞄准信号,最终影响到差动共焦测量系统对加工表面的测量精度及分辨特性.本文通过对差动共焦测量系统输出信号理论模型的分析得出差动共焦探测器输出信号的差异对共焦测量的瞄准信号无影响但对差动共焦瞄准的分辨力有影响.