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复杂形状的微细电火花加工工艺研究

摘要

本文介绍了将LIGA技术与微细电火花加工技术相结合来实现复杂形状微细结构的加工;初步探讨了复杂形状微细结构的加工工艺方法,获得了复杂微细形状的电火花加工工艺优化参数,试制出典型的复杂微细形状构件.

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