软X射线多层膜研究

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软X射线多层膜光学元件是X射线激光和惯性约束核聚变(ICF)实验中的重要器件,针对软X射线激光干涉实验的需要,开展了13.9nmX射线激光麦克尔逊干涉仪用Mo/Si分束镜的研究,得到了较高的反射率和透过率.为了拓展软X射线多层膜的应用范围,研制了软X射线超反射镜,取得了较好的结果,还研制了4.48nm短波长X射线高反射镜,并取得了初步的结果.

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来源
《第八届全国激光科学技术青年学术交流会》|2005年|425-428|共4页
会议地点福州
作者
张众; 王占山; 王风丽; 王洪昌; 吴文娟; 秦树基; 陈玲燕;
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作者单位

中国物理学会;

中国电子学会;

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TL644;
关键词
软X射线; 多层膜; 分束镜; 超反射镜;

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