光电子封装中的一种新型激光焊接吸收膜设计

摘要

设计了一种吸收膜,用于对SiO2,Si和LiNbO3等材料进行激光焊接.设计这种"金属-介质-金属"的三层吸收薄膜是为了进一步减少夹在透明母料之间的焊料表面对Nd:YAG激光束的反射.该设计使激光能量在实验中的实际吸收率超过了99﹪.这种吸收膜与焊料层的结合结构使激光能够更有效地转化为热能,并由此减少了激光穿透母料的能量,这样也就减少了因为激光的透射而导致母料损害的可能性,使激光能量得到更有效的使用.同时,焊接成品的力学性能也得到了有效提高.