工序能力指数CPK评价在混合集成电路生产线中的实践与应用

摘要

本文介绍了工序能力指数的基本概念,阐述了在混合集成电路生产线中实施CPK评价的实践和流程,指出了存在的问题,并从工序能力分析的角度论述了6σ设计目标。