四氟化硅的生产概况

摘要

四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料,它还能用作光导纤维和水泥硬化剂等的原料.SIF4的工业生产方法主要有硫酸法、六氟硅酸盐热解法和Si-HF直接合成法3种,重点介绍了SiF4的合成与精制工艺,同时介绍了SiF4的性质和经济概况。