前开口一体片盒的AMC定性

摘要

为了确定FOUP内的有机污染物,针对两种取样方法进行了测试.一种方法是使用FOUP底部的两个端口.纯氮被引入FOUP,与出口端相连的吸附管对气悬浮分子污染物进行收集.另一种方法是在FOUP内安装无源敏感采样器.用这两种方法收集的有机污染物均采用GC-MS进行测定.吹氮法和无源抽样法对确定FOUP中的污染物均有效.此外,实验结果表明,FOUP周围的环境会严重影响到FOUP中的洁净度.